取扱い製品(実績) 真空アニール装置 水蒸気熱処理装置 蒸着装置 スパッタリング装置 汎用プラズマヘッド(平衡平板・ICPタイプ) PE-CVD装置 RFイオン源 LD照射装置 真空搬送ユニット 真空排気ユニット 酸化プラズマ装置
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