事業内容

半導体及び、液晶・太陽電池製造関連装置の設計・製造・販売
各種、電子デバイス等の研究開発装置及びコンポーネンツの設計・製造受託・販売
各種真空装置のメンテナンス・改造その他、真空部品の設計製作販売

製品

取扱い製品(実績)

真空アニール装置  水蒸気熱処理装置  蒸着装置  スパッタリング装置 
汎用プラズマヘッド(平衡平板・ICPタイプ)  PE-CVD装置  RFイオン源 
LD照射装置  真空搬送ユニット  真空排気ユニット  酸化プラズマ装置

 

お取引会社一覧

TDK(株)、アイメックス(株)、北日本電線(株)、テックトレーディング(株)
浜松ホトニクス(株)、三菱ケミカル(株)、(株)不二越、(株)オーク製作所
キャノンアネルバ(株)、大日本印刷(株)、東海光学(株)、日本電子(株)
日本航空電子工業(株)、日新電機(株)、昭和オプトロニクス(株)
北陸先端科学技術大学院大学、奈良先端科学技術大学院大学、東京農工大学

大阪大学、広島大学、島根大学、高知工科大学 順不同