DESIGN SYSTEM

１.水蒸気熱処理装置、蒸着装置、スパッタ装置、太陽電池製造関連装置など産業用真空装置の設計・製造
２.各種電子デバイス等の研究開発装置　及び　コンポーネンツの設計・設計受託・販売
３.各種真空装置のメンテナンス・改造
４.その他真空部品の設計製作販売

設計・開発　🔹スパッタ装置
　　　　　　🔹蒸着装置
　　　　　　🔹CVD装置
　　　　　　🔹エッチング装置
　　　　　　🔹分析装置
　　　　　　🔹真空機器・部品
　　　　　　🔹各ユニット　　他

受託製造　　🔹実験・開発装置
　　　　　　🔹凍結乾燥装置
　　　　　　🔹太陽電池製造装置
　　　　　　🔹半導体製造装置
　　　　　　🔹FPD製造装置
　　　　　　🔹各ユニット　　他

加工部品　　🔹チャンバー
　　　　　　🔹溶接加工
　　　　　　🔹蒸着装置
　　　　　　🔹ステンレス・アルミ・チタン・
　　　　　　　 モリブテン・タングステン・
　　　　　　　 セラミック・樹脂加工　　他

規格部品　　🔹JIS規格・ICF規格
　　　　　　🔹ISO-KF・LF規格
　　　　　　🔹各種変換継手
　　　　　　🔹ガスライン継手
　　　　　　🔹フレキシブル継手
　　　　　　🔹導入端子
　　　　　　🔹各種Oリング、ガスケット　他

改造・修理　　🔹蒸着装置
　　　　　　　🔹スパッタ装置
　　　　　　　🔹CVD装置
　　　　　　　🔹エッチング装置
　　　　　　　🔹分析装置
　　　　　　　🔹真空機器・部品
　　　　　　　🔹各ユニット　　他

メンテナンス　🔹オーバーホール
　　　　　　　🔹装置再組立・調整
　　　　　　　🔹各種気密試験
　　　　　　　🔹性能確認　　　他

配管設計施工　🔹現地配管設計
　　　　　　　🔹製作・施工
　　　　　　　🔹検査(ﾘｰｸﾁｪｯｸ)
　　　　　　　🔹耐震固定工事
　　　　　　　🔹ケーブルラック設置 他

移　設　　　　🔹運搬・設置
　　　　　　　🔹装置再組立
　　　　　　　🔹装置再立ち上げ
　　　　　　　🔹蒸着装置
　　　　　　　🔹各種気密試験
　　　　　　　🔹性能確認　他