真空アニール装置 水蒸気熱処理装置 蒸着装置 スパッタリング装置 汎用プラズマヘッド（平衡平板・ICPタイプ）
PE-CVD装置 RFイオン源 LD照射装置 真空搬送ユニット 真空排気ユニット 酸化プラズマ装置
